乾曜Sirius干涉条纹分析软件参数
型号 | 移相（Phase） |
分析算法 | 移相分析法 |
分析像素 | 640*480可选1024*1024 |
重复性 | PV：0.01λ RMS：0.003λ |
分析项目 | PV，RMS，Power， Astig，Coma,Sph， Irregularity ，Zernike多项式及Seidel像差，MTF，PSF等 |
质量控制 | PV，RMS，Irregularity，Astig，Coma等 |
数据输入 | 图像( .bmp) 数据文件 (ASC II) |
数据输出 | ASC II, .bmp, .xyz |
