氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，氦检漏仪，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，氦质谱检漏仪，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，检漏仪，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数，上海检漏，监控一目了然。电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2.漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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