离子源清洗 NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统 那诺-马斯特
更新:2022-08-24 18:27 编号:15433153 发布IP:116.234.91.228 浏览:46次- 发布企业
- 上海耀他科技有限公司商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第3年主体名称:上海耀他科技有限公司组织机构代码:91310114MABTYCA99H
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 那诺-马斯特
- 型号
- NIE-3500(A)
- 产地
- 美国
- 关键词
- 等离子清洗机,等离子设备清洗机,等离子清洗设备,离子源清洗,离子束清洗
- 所在地
- 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602(注册地址)
- 联系电话
- 021-62318025
- 全国服务热线
- 17317363700
- 联系人
- 张经理 请说明来自顺企网,优惠更多
详细介绍
NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统产品概述:该系统为全自动上下载片,并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为。
NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统产品特点:
低成本
带预真空锁,自动上下载片
离子束:高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径:4",5",6"
兼容反应及非反应气体(Ar, O2,CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵
14"不锈钢或铝质腔体
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片(NIE-3500)
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
占地面积30"x30"
产品应用:
表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀: 光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀
我公司主要经营各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等(ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD)
法定代表人 | 张文闯 | ||
注册资本 | 500万人民币 | ||
主营产品 | 各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等(ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD) | ||
经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) | ||
公司简介 | 那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室(上海耀他科技有限公司),提供销售和售后技术服务。那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国 ... |
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