化学气相沉积(简称CVD)它是将工件放入密封室,加热到一定温度,通入反应气体,利用室内气相化学反应在工件表面沉积成膜。源物质除气态外,也可以是液态和固态。所用的化学反应有多种类型,如热分解、氢还原、金属还原、化学输运反应、等离子体激发反应、光激发反应等。不锈钢法兰加热方式有电阻高频感应、红外线加热等。主要设备有气体的发生、诤化、混合、输运装置,以及工件加热、反应室、排气装置。主要方法有热化学气相沉积、低压化学气相沉积、等离子体化学气相沉积、金属有机化合物气相沉积、激光诱导化学气相沉积。化学热处理它是将金属或合金工件置于一定温度的活性介质中保温,使一种或几种元素渗入它的表层,以改变其化学成分、组织和性能的热处理工艺。按渗入的元素可分为渗碳、渗氮、碳氮共渗、渗硼、渗金属等。渗入元素介质可以是固体、液体和气体,但都要经过介质中化学反应、外扩散、相界面化学反应(或表面反应)和工件中扩散四个过程。离子注入表面改性它是将所需的气体或固体蒸气在真空系统中电离,引出离子束后在数千电子伏至数十万电子伏加速下直接注入材料,达一定深度,从而改变不锈钢法兰表面的成分和结构,达到改善性能之目的。其优点是注入元素不受材料固溶度限制,适用于各种材料,工艺和质量易控制,注入层与基体之间没有不连续界面。它的缺点是注入层不深,对复杂形状的工件注入有困难。
目前,表面技术领域的一个重要趋势是综合运用两种或更多种表面技术的复合表面处理技术。随着材料使用要求的不断提高,单一的表面技术因有一定的局限性而往往不能满足需要。目前已开发的一些复合表面处理,如等离子喷涂与激光辐照复合、热喷涂与喷丸复合、化学热处理与电镀复合、激光淬火与化学热处理复合、化学热处理与气相沉积复合等,已经取得良好效果。在单一表面技术发展的综合运用两种或多种表面技术的复合表面技术(也称第二代表面技术)有了迅速的发展。复合表面技术通过多种工艺或技术的协同效应使工件材料表面体系在技术指标、可靠性、寿命、质量和经济性等方面获得的效果,克服了单一表面技术存在的局限性,解决了一系列工业关键技术和高新技术发展中特殊的技术问题。强调多种表面工程技术的复合,是表面工程的重要特色之一。不锈钢法兰表面工程技术的研究和应用已取得了重大进展,如热喷涂和激光重熔的复合、热喷涂与刷镀的复合、化学热处理与电镀的复合等。表面工程技术设计是针对工程对象的工况条件和设备中零部件等寿命的要求,