马弗炉原理：高温炉加热室用耐火材料及碳化硅、氧化镁、氧化铝等制成，电热丝为镍铬合金丝。马弗炉外部由铁板制成，涂以皱纹漆，炉门上有一小孔，嵌以透明的云母片，可以窥视炉内情况。使用时需配备自动定温控制器和热电偶，自动定温控制器是应用一个电子管高频振荡电路，其中的储能线圈由于耦合储电器的适当配合，使其固定于某一震荡频率，储能线圈附有定温指标，并有大型热电偶温度计，明确指示高温炉的温度，其指针上有一金属小旗，当炉温升到所需的温度，温度指标的小旗与储能线圈相耦合时，振荡电流随机停止，电子管板极电流因之变化，令其操纵一个极灵敏的继电器，再以此控制一继电器来切断电热丝的电流，使温度不再上升，当温度下降时，指针的小旗与储能线圈失去耦合，电子管又恢复振荡，被控制的继电器亦恢复通过高温炉的电流，炉温又可渐升，如此因电流的断续，已达到自动保持一定温度的目的。
配备有双头带阀进气口，保护罩，气体流量计，管，单头带阀出气口，保护罩，真空压力表碳酸盐的热离解称为焙解
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1pptm间。