半导体设备|光伏设备|硅片|晶圆制造设备用力士乐精密耐腐蚀导轨R190215200

**，灵活而高效：

半导体工业的自动控制解决方案

以多项技术方案实现完善的自动控制

满足各种应用要求的正确解决方案：针对半导体工业的实际需

要，力士乐提供了全球数量*多的自动控制技术组合。开发

可升级、跨技术应用系统的工程团队，具有无与伦比的实践经

验。

半导体工业对于自动控制有一套非常特殊的要求，包括为晶圆装

卸期间的运动平稳性而设计的机电控制模块、以非接触式方式运

送材料并通过加工舱、以及纳米级的定位精度。

力士乐在半导体工业拥有10年以上的深入应用经历；这种专业经

历包括为整个前、后端生产工艺不断开发新的元件、模块和产品

线。

在传动与控制技术领域，唯有力士乐能提供全系列的一站式解决

方案，从而节省您的时间和精力；而一旦得到我们****团队

的支持、并充分利用他们宝贵的应用系统开发经验，这种优势就

尽显无遗。我们的员工熟悉您所面临的难题，适时为您提供正确

的解决方案以确保卓越的性能。

即便在设备调试之后无论您身处何地，我们也始终是您****

的合作伙伴；在整个自动控制系统生命周期内，一旦您需要我

们，随时随地，遍及世界80多个国家的力士乐技术人员都将竭诚

为您服务。

NYCe 4000 运动控制系统将让您获得前所未有的自由度。经过巧妙设计的硬件与

开放式软件架构组合在一起，可以处理复杂的设备运行事务，从而为量身定制的

运动解决方案提供一个理想的平台，并能方便地嵌入您的自动控制环境。

模块化的多轴控制器，在极为紧凑的机罩内集成了全部的控制器

和驱动器硬件。用户可以用**编程语言，编写复杂的运动控制

程序。极为高速的控制回路具有 32 kHz 的带宽，可以产生*高

的精度和动态性能。运动控制系统能以实时方式，并行处理多达

120 路数字和模拟输入/输出信号。您可以用标准的硬件，实现各

种复杂的工艺运行任务。

预定义的软件算法，可确保零振动和零反向间隙。开放式控制器

架构，让用户获得了定制运动学机构时完全的自由。直观、对话

方式的用户界面设有诸多向导功能，使得开发工作变得更容易；

还简化了设备调试过程，并缩短了产品上市时间

晶圆装卸

高刚度，无过冲，无间隙：力士乐晶圆装卸解决方案的设计，完

美地实现了高频响的伺服驱动器、高刚度的线性子系统及气动执

行器之间的协调一致。对于用户而言，这就意味着更短的非生产

线待机时间、以及从前段到末段全套设备运行的标准化操作流

程。利用运动控制系统中的预定义算法，可以预防系统产生振

动。高阶仿形运动和样条函数，则可以生成更为平稳的运动序

列。

d LS04 气动阀采用灵活的电

气接口技术，结构非常紧

凑，安装快捷而方便。

e 滚珠丝杠总成非常适用于高

频响应用，具有非常平稳的

行进性能，并以滑动接触方

式提供高效的密封。根据内

部总体再循环的原理，可以

提供一致的功能。

 微型滚珠导轨系统的特点：

具有紧凑的结构设计、较

大的承载能力和出色的行进

性能。

IndraDyn 伺服电机能出色

地达到*大输出扭矩，具备

相同功率下更小巧便携的设

计，内置多回转**值编

码器。

晶圆生产的各个阶段

晶圆阶段的程序支持高精度的运动控制，在用于产品检查和质量

控制时，可以实现纳米级精度的晶圆校准、定位和测试功能。

NYCe 4000 运动控制系统可确保 1 - 5 nm 的高精度分辨率、以及

大于等于50 nm/s的均匀极低速运动。通过专用的伺服电机、无铁

芯的直线电机和扭矩电机，可以增强控制系统的动态性能；利用

高精度的直线导轨，就能消除振动。只需增加一套气动子系统，

我们就能构建一组完整的自动控制套件。

e 无铁芯直线电机的响应快速

而**，并具有出色的平稳

性。由于这种电机元件的重

量较轻，能实现相当高

的加速值。

e 阀岛系统 LS04 的特点：采

用灵活的电气接口技术。其

模块化概念，允许构建多达

24 个阀站。

e 滚珠导轨系统的承载能力

大，并具有平稳的行进性

能，专为高速和加速运动而

设计。

 NYCe 4000 是一种理想的

运动控制器，用于纳米级精

度的平稳运动。