**，灵活而高效：
半导体工业的自动控制解决方案
以多项技术方案实现完善的自动控制
满足各种应用要求的正确解决方案：针对半导体工业的实际需
要，力士乐提供了全球数量*多的自动控制技术组合。开发
可升级、跨技术应用系统的工程团队，具有无与伦比的实践经
验。
半导体工业对于自动控制有一套非常特殊的要求，包括为晶圆装
卸期间的运动平稳性而设计的机电控制模块、以非接触式方式运
送材料并通过加工舱、以及纳米级的定位精度。
力士乐在半导体工业拥有10年以上的深入应用经历；这种专业经
历包括为整个前、后端生产工艺不断开发新的元件、模块和产品
线。
在传动与控制技术领域，唯有力士乐能提供全系列的一站式解决
方案，从而节省您的时间和精力；而一旦得到我们****团队
的支持、并充分利用他们宝贵的应用系统开发经验，这种优势就
尽显无遗。我们的员工熟悉您所面临的难题，适时为您提供正确
的解决方案以确保卓越的性能。
即便在设备调试之后无论您身处何地，我们也始终是您****
的合作伙伴；在整个自动控制系统生命周期内，一旦您需要我
们，随时随地，遍及世界80多个国家的力士乐技术人员都将竭诚
为您服务。
NYCe 4000 运动控制系统将让您获得前所未有的自由度。经过巧妙设计的硬件与
开放式软件架构组合在一起，可以处理复杂的设备运行事务，从而为量身定制的
运动解决方案提供一个理想的平台，并能方便地嵌入您的自动控制环境。
模块化的多轴控制器，在极为紧凑的机罩内集成了全部的控制器
和驱动器硬件。用户可以用**编程语言，编写复杂的运动控制
程序。极为高速的控制回路具有 32 kHz 的带宽，可以产生*高
的精度和动态性能。运动控制系统能以实时方式，并行处理多达
120 路数字和模拟输入/输出信号。您可以用标准的硬件，实现各
种复杂的工艺运行任务。
预定义的软件算法，可确保零振动和零反向间隙。开放式控制器
架构，让用户获得了定制运动学机构时完全的自由。直观、对话
方式的用户界面设有诸多向导功能，使得开发工作变得更容易；
还简化了设备调试过程，并缩短了产品上市时间
晶圆装卸
高刚度，无过冲，无间隙：力士乐晶圆装卸解决方案的设计，完
美地实现了高频响的伺服驱动器、高刚度的线性子系统及气动执
行器之间的协调一致。对于用户而言，这就意味着更短的非生产
线待机时间、以及从前段到末段全套设备运行的标准化操作流
程。利用运动控制系统中的预定义算法，可以预防系统产生振
动。高阶仿形运动和样条函数，则可以生成更为平稳的运动序
列。
d LS04 气动阀采用灵活的电
气接口技术，结构非常紧
凑，安装快捷而方便。
e 滚珠丝杠总成非常适用于高
频响应用，具有非常平稳的
行进性能，并以滑动接触方
式提供高效的密封。根据内
部总体再循环的原理，可以
提供一致的功能。
微型滚珠导轨系统的特点：
具有紧凑的结构设计、较
大的承载能力和出色的行进
性能。
IndraDyn 伺服电机能出色
地达到*大输出扭矩，具备
相同功率下更小巧便携的设
计，内置多回转**值编
码器。
晶圆生产的各个阶段
晶圆阶段的程序支持高精度的运动控制，在用于产品检查和质量
控制时，可以实现纳米级精度的晶圆校准、定位和测试功能。
NYCe 4000 运动控制系统可确保 1 - 5 nm 的高精度分辨率、以及
大于等于50 nm/s的均匀极低速运动。通过专用的伺服电机、无铁
芯的直线电机和扭矩电机，可以增强控制系统的动态性能；利用
高精度的直线导轨，就能消除振动。只需增加一套气动子系统，
我们就能构建一组完整的自动控制套件。
e 无铁芯直线电机的响应快速
而**，并具有出色的平稳
性。由于这种电机元件的重
量较轻，能实现相当高
的加速值。
e 阀岛系统 LS04 的特点：采
用灵活的电气接口技术。其
模块化概念，允许构建多达
24 个阀站。
e 滚珠导轨系统的承载能力
大，并具有平稳的行进性
能，专为高速和加速运动而
设计。
NYCe 4000 是一种理想的
运动控制器，用于纳米级精
度的平稳运动。
