上海金瑞纳JRN-CVD系列管式炉化学气相沉积炉真空管式炉真空cvd管式炉

2023-05-09 17:12 117.143.106.46 2次
发布企业
上海金瑞纳材料技术有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
2
主体名称:
上海金瑞纳材料技术有限公司
组织机构代码:
91310112MAC47GJ05L
报价
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品牌
金瑞纳
型号
JRN-CVD
产地
上海
关键词
CVD管式炉,管式炉,真空管式炉,高温管式炉,
所在地
上海市闵行区放鹤路1088号(注册地址)
手机
17274689227
联系人
刘经理  请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍

CVD管式炉

简介:

CVD成长系统是利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应,从而在基体表面上生成不挥发涂层的一种薄膜材料制备系统,它由真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成。
CVD真空系统可选配分子泵系统或旋片泵系统,真空度可达10*-5pa,多路气源混合系统可选配浮子流量计或质子流量计,量程范围大,控制精度高; 另有多种功能接受客户要求定制。

 

用途:适用于CVD 工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基 片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容 (MLCC) 气氛烧结等实验。

技术参数:

产品名称

CVD化学气相沉积系统

产品型号

JRN-MCVD1200-60

管式加热系统


滑道(可选)

带滑道可滑动炉膛,实现快速升温或降温功能

加热区长度

500mm  单温区

炉管尺寸

φ60mmx1400mm外径x 长度

炉管材质

高纯石英管

工作温度

≤ 1100℃

温控系统

智能化 31段PID 微电脑可编程自动控制

温控精度

±1℃ (具有超温和断偶报警功能)

加热速率

建议 0~10℃/min

加热元件

含钼电阻丝

额定电压

单相 220V 50Hz

可通气体

氮气、氩气等惰性气体

测温元件

热电偶测温

壳体结构

双层风冷结构炉壳

真空法兰

法兰一端带 1/4”卡套接头进气口,60mm 法兰。另一端带控压 阀,气动泄压阀和放气阀。

 
供气系统

多路精密质子流量计:
测量精度:±1% F.S.
流量范围: : 0~200sccm  (按客户要求 )
流量范围: : 0~200sccm  (按客户要求)
流量范围: : 0~500sccm  (按客户要求)
通过触屏来调节气体流量

真空系统

旋片泵,真空度在空炉冷态可达 1pa,(可选分子泵真空机组,真空度可达到6.67x10-5pa)
真空计:数显真空计实时显示真空度,精度高。

气体定量系统

 整体可以控制压力范围 -20kpa 到 20 kpa (相对压力)

自动化控制 15”触摸屏

触摸屏界面集成控制炉子,真空泵,质量流量计以气体定量系 统。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制 温度曲线的启停,真空度,气体流量,泄压阀等。


所属分类:中国电工电气网 / 实验电炉
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法定代表人刘潇
注册资本100万人民币
主营产品马弗炉,气氛炉,高温炉,真空炉,管式炉,升降炉,cvd管式炉,真空碳管炉,真空中频熔炼炉
经营范围一般项目:新材料技术推广服务;新材料技术研发;烘炉、熔炉及电炉制造;泵及真空设备制造;电力电子元器件制造;电工仪器仪表制造;仪器仪表制造;电容器及其配套设备制造;烘炉、熔炉及电炉销售;仪器仪表销售;电工仪器仪表销售;泵及真空设备销售;电力电子元器件销售;机械设备销售;仪器仪表修理;机械设备租赁;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;实验分析仪器制造;实验分析仪器销售;智能仪器仪表制造;智能仪器仪表销售;试验机制造;试验机销售;货物进出口;技术进出口;进出口代理;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);机械设备研发。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司简介上海金瑞纳材料技术有限公司是一家从事高温电炉、真空炉、气氛炉、正负极材料烧结炉、马弗炉、管式炉、碳管炉、热压炉以及各种定制电炉的生产厂家。公司秉着“以质量求生存,以信誉求发展”的总之,以“务实、诚信、高效”为企业理念,为客户提供满意的产品,满足客户实验或生产需求。公司致力于各种材料的定制高温炉的研发和生产,切实推进和客户的密切合作,满足客户的实际需求,用定制化思路服务于客户。公司的合作对象遍布于国 ...
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