风囊泵的工作原理是采用压缩空气为动力源,通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作,利用液相腔的交替吸液排液,实现对液体的输送的泵。风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔,每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分,压缩空气进入泵的气相工作腔后,压缩风囊变形往复移动,实现液体介质的输送。
气动风囊泵除具有气动隔膜泵的主要优点外, 因采用全氟材料,无任何金属,耐腐蚀性,耐高温性更强,好高使用温度可达到 210℃;采用风囊结构使用寿命更长,更适用于连续工作情况;液体脉动较气动隔膜泵小,如在管路中加装脉冲缓冲器,脉动将会大幅度减小;在流体路径中没有任何叶轮部件,不会产生微型气泡、粒子和离子污染,产品都是在class 100 级的洁净室内完成测试包装,非常适合半导体等洁净度要求较高的行业使用。
气动风囊泵除具有气动隔膜泵的主要优点外, 因采用全氟材料,无任何金属,耐腐蚀性,耐高温性更强,好高使用温度可达到 200℃;采用风囊结构使用寿命更长,更适用于连续工作情况;液体脉动较气动隔膜泵小,如在管路中加装脉冲缓冲器,脉动将会大幅度减小;在流体路径中没有任何叶轮部件,不会产生微型气泡、粒子和离子污染,产品都是在class 100 级的洁净室内完成测试包装,非常适合半导体等洁净度要求较高的行业使用。
风囊泵广泛应用于半导体CMP工艺及清洗工艺、CDS化学药液输送系统、氢氧化钠四甲基胺灌装、超滤膜生产制造、LED液晶面板清洗机等行业。