产品结构:
高真空卧式管式炉采用双层壳体结构,炉膛材料采用高纯氧化铝多晶纤维,壳体采用双层结构带有风冷系统,加热元件采用电阻丝,此款炉型控制精度达到±1℃。
产品用途:
高真空卧式管式炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。
产品参数:
工作温度:≤1100℃
高温度:1200℃
温区:单温区
温区长度:500mm
恒温区:300mm
炉管尺寸:Φ100*1200mm
控温精度:±1℃
加热速率:0~20℃/分/可调
加热元件:优质电阻丝
工作电压:AC 220单相,50/60 Hz
大功率:32KW
密封系统:304不锈钢法兰进行密封
极限真空:≤6.67*10-2pa
真空显示:数显复合真空计
测温元件:K型热电偶
炉管材质:石英管
真空机组:4L/S双级泵+F-100分子泵
通用气体:可通任何惰性气体 通易燃易爆气体时做好防护