GCQ系列气动高真空插板阀和CCQ系列气动超高真空插板阀都是用于接通或切断真空管路中气流的目的一种装置。
a)通常真空插板阀的高度较高,有占设备高度空间大的缺点。为了克服这个缺点我们将驱动装置设计在侧面,这样大大地缩短了阀门的高度尺寸,减少了设备空间的制造成本
b)适用的介质为空气及非腐蚀性气体。CCQ系列能承受450ºC烘烤温度,通常用于离子泵和高温的真空环境。
适用范围 | 105~6.7×10-5Pa(GCQ系列) 105~6.7×10-8Pa(CCQ系列) |
阀门漏率 | ≤1.3×10-5Pa.L/S(GCQ系列) ≤1.3×10-8Pa.L/S(CCQ系列) |
介质温度 |