光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。
复达检测依法向社会各界提供光刻胶检测服务,具体检测服务内容如下:
(1)对于光刻胶检测我们可提供的检测范围,包括但不限于以下:
配方检测,折射率检测,性能检测,有害物质检测,成分比例测定,元素测定,化学测定,金属离子测定,配方检测,粘度测定,显影速度、粘附力、曝光度、显影残留物、耐化学性,重金属检测,液相检测,VOC检测,厚度检测,吸水率检测等。
(2)本检测机构还可提供相关标准检测,包括但不限于:
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
T/ICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶
T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
SJ 21293-2018印制板用光成像抗蚀抗电镀油墨规范
SS 83-1972抗蚀保护用热敷沥青基覆层
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
GB/T 29846-2013印制板用光成像耐电镀抗蚀剂
GOST 27597-1988电子技术制品. 抗蚀性评估方法
更多检测标准欢迎联系咨询。
(3)本光刻胶检测机构抗蚀性检测数据结果出具时间依据样品数量、项目要求而定,一般周期为3-10个工作日,支持加急处理。
(4)本检测机构已获CMA、CNAS资质认可,可向社会各界出具第三方检测报告,本报告可做司法诉讼依据具备法律效益。