检测概述：
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的jingque性和准确性。
检测范围：
氧化亚氮、氨、氯化氢、sanfuhuapeng、氧、磷化氢、硅烷、甲烷、丙烯、氢、氦、氮、氨、氩、三氯化硼、三氟甲烷、六氟化硫、六氟化钨、六氟乙烷、高纯氯、三氟化氮等
检测标准：
GB⁄T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
GB⁄T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GB⁄T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
GB⁄T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GB⁄T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GB⁄T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
GB⁄T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
GB⁄T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
GB⁄T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
GB⁄T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
GB⁄T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GB⁄T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
GB⁄T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
GB⁄T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
GB⁄T 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮
GB⁄T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB⁄T 14603-2009 电子工业用气体 sanfuhuapeng
GB⁄T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB⁄T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
GB⁄T 16942-2009 电子工业用气体 氢
GB⁄T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB⁄T 16944-2009 电子工业用气体 氮
GB⁄T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB⁄T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
