真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变。
真空腔体检测项目
外观质量、耐压性测试、表面洁净度检测、泄漏率测试、管束阻力损失检测、飘滴损失检测、抗渣性检测、耐水强度检测、顶破强度测试卷边检测、耐撕检测、耐唾液色牢度检测、共面度检测、可塑度检测、常规检测、第三方检测、现场检测等。（具体以客户实际情况为准）
真空腔体检测范围
光学真空腔体、大型真空腔体等。
真空腔体检测标准（部分）
1、 T/CATSI 09010-2021 光学真空腔体洁净度检测规范
2、 DB34/T 3572-2019 大型超导磁体真空压力浸渍技术规程
3、 T/GVS 003-2021 真空表面处理工艺用离子源
4、 T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
5、 GM GM9192P-1988 层压织物的空腔真空成型可扩展性
6、 DIN 28431:1987 真空技术.液体环式真空泵的验收规范
7、 BS ISO 21360-3:2019 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 机械增压真空泵的具体参数
什么是第三方检测报告？
第三方检测报告是由独立的第三方检测机构或实验室基于特定的标准，规范或要求进行测试和评估，所提供的有关评估和测试结果的正式文件。
这些机构与被测试实体（如生产商、供应商或组织等）没有利益关系，有相对的独立性和公正性，有资格向社会出公正数据(检验报告)，可以提供客观、公正的评估。旨在确保产品、材料或系统的质量、安全性、合规性等方面的要求得到满足。
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