睿米® RMI-PSOZV™无源漏孔-外接气源 依据客户指定气体、压力、漏率jingque订制

睿米®  RMI-PSOZV™无源漏孔-外接气源

依据客户指定气体、压力、漏率jingque订制

  睿米® 推出RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀无源漏孔，系统零冲击|极低气体损耗&衰减 | 适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、昂贵气体等场景|支持所有气体/混气：10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制，He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4...可以根据用户的需要，做到高度的定制。包括定制漏率（如果是单一气体，该气体的漏率；如果是混合气体，定制某一气体的分漏率或混合气总漏率）、气体种类、比例、同位素、丰度等。

单一气体定制： 可以选择任何需要监控或校准的特定气体，例如 H₂, O₂, CO₂, CH₄甲烷, SF₆, Kr, Xe 等

混合气体的定制：

1、气体种类： jingque模拟实际工艺腔室或真空系统中的残余气体成分。

2、气体比例： 设定各组分气体的jingque浓度（例如：1ppm Kr/Xe 余H2）。

3、同位素种类与丰度： 这对于使用同位素示踪的研究、特定同位素敏感的应用或需要校准RGA同位素分辨能力的场景至关重要。例如，定制特定比例，1ppm Kr/Xe 余N2等

应用场景

1、半导体制造： jingque监控和校准RGA对工艺气体残留（如蚀刻、沉积、离子注入后的副产物）、腔体泄漏（特定气体）的检测能力。定制混合气可模拟真实腔体环境。

2、真空镀膜： 校准RGA对背景气体（水汽、氧气、氮气、碳氢化合物）的灵敏度，确保镀膜质量。

3、高能物理/加速器： 需要监控超纯真空或特定气体环境。同位素定制对某些实验尤为重要。

4、聚变研究： 对氢同位素（H₂, D₂, T₂）及其比例的jingque监测和校准需求极高。

5、航天器测试： 模拟太空环境或检测泄漏（如定制肼类气体或氙气）。

6、基础研究： 任何需要jingque知道残余气体成分和比例，并对RGA测量精度有高要求的实验室。

7、泄漏检测（配合示踪气）： RGA本身常用于检漏，但定制特定示踪气体的标准漏孔可用于校准整个检漏系统（RGA+真空系统）对该种气体的响应。