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第一。电机上电，机械振荡(加／减速时)
引发此类故障的常见原因有：①脉冲编码器出现故障。此时应检查伺服系统是否稳定，电路板维修检测电流是否稳定，同时，速度检测单元反馈线端子上的电压是否在某几点电压下降，如有下降表明脉冲编码器不良，更换编码器；②脉冲编码器十字联轴节可能损坏，导致轴转速与检测到的速度不同步，更换联轴节；③测速发电机出现故障。修复，更换测速机。维修实践中，测速机电刷磨损、卡阻故障较多，此时应拆下测速机的电刷，用纲砂纸打磨几下，同时清扫换向器的污垢，再重新装好。
第二．电机上电，机械运动异常快速(飞车)
出现这种伺服整机系统故障，应在检查位置控制单元和速度控制单元的同时，还应检查：①脉冲编码器接线是否错误；②脉冲编码器联轴节是否损坏；③检查测速发电机端子是否接反和励磁信号线是否接错。一般这类现象应由专业的电路板维修技术人员处理，否则可能会造成更严重的后果。
第三．主轴不能定向移动或定向移动不到位
出现这种伺服整机系统故障，应在检查定向控制电路的设置调整、检查定向板、主轴控制印刷电路板调整的同时，还应检查位置检测器(编码器)的输出波形是否正常来判断编码器的好坏(应注意在设备正常时测录编码器的正常输出波形，以便故障时查对)。
第四．坐标轴进给时振动
应检查电机线圈、机械进给丝杠同电机的连接、伺服系统、脉冲编码器、联轴节、测速机。
第五．出现NC错误报警
NC报警中因程序错误，操作错误引起的报警。如FANUC6ME系统的Nc出现090.091报警，原因可能是：①主电路故障和进给速度太低引起；②脉冲编码器不良；③脉冲编码器电源电压太低(此时调整电源15V电压，使主电路板的+5V端子上的电压值在4.95-5.10V内)；④没有输人脉冲编码器的一转信号而不能正常执行参考点返回。
第六。伺服系统报警
伺服系统故障时常出现如下的报警号，如FANUC6ME系统的416、426、436、446、456伺服报警；STEMENS880系统的1364伺服报警；STEEMENS8系统的114、104等伺服报警，此时应检查：①轴脉冲编码器反馈信号断线、短路和信号丢失，用示渡器测A、B相一转信号，看其是否正常；②编码器内部故障，造成信号无法正确接收，检查其受到污染、太脏、变形等。
安川变频器F7系列
CIMR-F7B40P4 CIMR-F7B40P7 CIMR-F7B41P5 CIMR-F7B42P2 CIMR-F7B43P7CIMR-F7B45P5 CIMR-F7B47P5 CIMR-F7B4011 CIMR-F7B4015 CIMR-F7B4018CIMR-F7B4022 CIMR-F7B4030 CIMR-F7B4037 CIMR-F7B4045 CIMR-F7B4055CIMR-F7B4075 CIMR-F7B4090 CIMR-F7B4110 CIMR-F7B4132 CIMR-F7B4160CIMR-F7B4185 CIMR-F7B4220 CIMR-F7B4300 CIMR-F7A20P4 CIMR-F7A20P7CIMR-F7A21P5 CIMR-F7A22P2 CIMR-F7A23P7 CIMR-F7A25P5 CIMR-F7A27P5CIMR-F7A2011 CIMR-F7A2015 CIMR-F7A2018 CIMR-F7A2022 CIMR-F7A2030CIMR-F7A2037 CIMR-F7A2045 CIMR-F7A2055 CIMR-F7A2075 CIMR-F7A2090CIMR-F7A2110
安川变频器G7系列
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安川变频器V7系列
CIMR-V7A40P4 CIMR-V7A40P7 CIMR-V7AT40P2 CIMR-V7AT40P4CIMR-V7AT40P7
CIMR-V7AT41P5
CIMR-V7AT42P2CIMR-V7AT43P0 CIMR-V7AT43P7 CIMR-V7AT45P5CIMR-V7AT47P5
CIMR-V7A41P5
CIMR-V7A42P2 CIMR-V7A43P7 CIMR-V7A45P5 CIMR-V7A47P5
安川变频器J7系列
CIMR-J7AA40P20 CIMR-J7AA40P40
CIMR-J7AA40P70 CIMR-J7AA41P50
CIMR-J7AA42P20 CIMR-J7AA43P70
VS-606V7系列单相200V级
CIMR-V7ATB0P1 CIMR-V7ATB0P2 CIMR-V7ATB0P4 CIMR-V7ATB0P7CIMR-V7ATB1P5
CIMR-V7ATB2P2
CIMR-V7ATB3P7 CIMR-J7AA40P2 CIMR-J7AA40P4 CIMR-J7AA40P7CIMR-J7AA41P5
CIMR-J7AA42P2
CIMR-J7AA43P0 CIMR-J7AA43P7
VS-606V7系列三相200V级
CIMR-V7AT20P1 CIMR-V7AT20P2 CIMR-V7AT20P4 CIMR-V7AT20P7CIMR-V7AT21P5
CIMR-V7AT22P2 CIMR-V7AT23P7 CIMR-V7AT25P5CIMR-V7AT27P5
VS mini J7系列三相200V级
CIMR-J7AA20P1 CIMR-J7AA20P2 CIMR-J7AA20P4 CIMR-J7AA20P7CIMR-J7AA21P5
CIMR-J7AA22P2
CIMR-J7AA23P7