山武气体质量流量计CMS系列是使用了山武独自开发的超微小流速传感器—UF（microflow）传感器的新一代气体质量流量计。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量极低流速的流体流量，使CMS具有100:1高测量比。UF传感器无以伦比的卓越性能，加上独自开发的整流机构，使得本产品以相当于浮子式流量计的价格实现了高精度、高分辨率、宽测量范围的气体质量流量测量。
CMS山武气体流量计特点：
1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的测量
2：实现了3%RD的高精度，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力，同时也满足了低价格的要求
3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能
4：采用独特的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200一次压力49KPA）的低压力损失。
Azbil山武200L气体质量流量计型号一览：
CMS0200BSRN20010C CMS0200RTVN21010CCMS0200RTVS21010C
CMS0200BSRS20010CCMS0200BTSE21010C CMS0200BTSH21010C
CMS0200BTSN21010CCMS0200BTSS21010C CMS0200BTTE21010C
CMS0200BTTH21010CCMS0200BTTN21010C CMS0200BTTS21010C
CMS0200BTUE21010CCMS0200BTUH21010C CMS0200BTUN21010C
CMS0200BTUS21010CCMS0200BTVE21010C CMS0200BTVH21010C
CMS0200BTVN21010CCMS0200BTVS21010C CMS0200RSRN20010C