半导体应变计又可分为体型和扩散型两种。扩散型半导体应变计利用半导体平面工艺制成，性能优良，具有很大的发展前途。力敏元件的基本参数为灵敏度，即电阻值的相对变化量与应变量的比值。金属应变计的灵敏系数为2～3，而半导体应变计的灵敏系数为20～200。力敏元件可用来测量压力、位移、扭矩、加速度、气压、气体流量等力学量。
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