泛半导体设备控制软件

设备软件平台CTF概述

● CTF(Cluster ToolFramework)平台软件 

● 分布式结构的集束设备控制平台软件 

● 符合半导体设备行业标准的软件框架 

● 支持Windows，Linux(计划)等操作系统 

● 组件化、可视化开发 

● 高度可定制化

CFT系统架构

设备软件平台CTF功能介绍：

设备软件平台CTF开发流程介绍：

● 了解设备结构和功能需求

● 二次开发 

   ● 基本配置（结构、IO、报警等） 

    ●GUI配置和开发 

    ●PM开发（子流程控制、配方执行） 

    ●TM开发（传输控制） 

   ● 调度开发（定制调度算法） 

   ● 调试测试 

   ● 单元、集成测试（仿真+实际） 

   ● 工艺测试 

   ● 客户发布 

   ● 维护升级

CTF平台开发形式介绍

配置/组态工具 

● IO Config, GUI Designer等 ● 

● 配置文件●xml/json/csv 等格式 

● 设备结构、配方格式、报警、联锁、常量、历史记录等

● 定制开发 

● IO驱动 

● PM和TM

● GUI组件（如:配方编辑器、robot动画等）

● CTC调度