设备软件平台CTF概述
● CTF(Cluster ToolFramework)平台软件
● 分布式结构的集束设备控制平台软件
● 符合半导体设备行业标准的软件框架
● 支持Windows，Linux(计划)等操作系统
● 组件化、可视化开发
● 高度可定制化
CFT系统架构
设备软件平台CTF功能介绍：
设备软件平台CTF开发流程介绍：
● 了解设备结构和功能需求
● 二次开发
● 基本配置（结构、IO、报警等）
●GUI配置和开发
●PM开发（子流程控制、配方执行）
●TM开发（传输控制）
● 调度开发（定制调度算法）
● 调试测试
● 单元、集成测试（仿真+实际）
● 工艺测试
● 客户发布
● 维护升级
CTF平台开发形式介绍
配置/组态工具
● IO Config, GUI Designer等 ●
● 配置文件●xml/json/csv 等格式
● 设备结构、配方格式、报警、联锁、常量、历史记录等
● 定制开发
● IO驱动
● PM和TM
● GUI组件（如:配方编辑器、robot动画等）
● CTC调度