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磁控溅射镀膜机 NSC-4000 Sputter

更新:2022-10-08 11:12 发布者IP:101.88.158.141 浏览:2次
发布企业
上海耀他科技有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
2
主体名称:
上海耀他科技有限公司
组织机构代码:
91310114MABTYCA99H
报价
请来电询价
品牌
那诺-马斯特
型号
NSC-4000S
产地
美国
关键词
磁控溅射,磁控溅射镀膜机,磁控溅射设备,磁控溅射镀膜,离子溅射仪
所在地
上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602(注册地址)
联系电话
021-62318025
全国服务热线
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产品详细介绍

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机:先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热(可加热至700度)功能;8“旋转样平台,可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7Torr,15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过使用RF射频开关,RF射频或DC直流电源可以切换到多磁控管模式。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。


NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点:

·        不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

·        70,250或500l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

·        13.56MHz,300-600WRF射频电源以及1KW DC直流电源

·        晶振夹具具有的<1?的厚度分辨率

·        带观察视窗的腔门易于上下载片

·        基于LabView软件的PC计算机全自动控制

·        带密码保护功能的多级访问控制

·        完全的安全联锁


选配项:

·        向上、向下或侧面溅射

·        RF、DC以及脉冲DC溅射

·        共溅射、反应溅射

·        组合溅射

·        RF或DC偏压(1000V)

·        样品台可加热到700°C

·        膜厚监测仪

·        基片的RF射频等离子清洗

·        预真空锁以及自动晶圆片上/下载片


应用:

·        晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

·        光学以及ITO涂覆

·        带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

·        带RF射频等离子放电的反应溅射


型号:

·        NSC-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统

·        NSC-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统

·        NSC-3000:PC计算机全自动控制的台式系统

·        NSC-1000:半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

·        NSR-4000:溅射/RIE系统

·        NSP-4000:溅射/PECVD系统

·        NST-4000:溅射/热蒸发系统


我公司主要经营各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等(ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD)


 


所属分类:中国办公文教网 / 实验室专用设备
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法定代表人张文闯
注册资本500万人民币
主营产品各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等(ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD)
经营范围一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
公司简介那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室(上海耀他科技有限公司),提供销售和售后技术服务。那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国 ...
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