有谛工业科技(上海)有限公司提供符合EIT-SEMIF57标准的FFKM全氟橡胶,FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。
半导体设备,半导体材料以及晶圆制造(Wafer Fabrication),晶圆测试(waferProbe/Sorting),蚀刻,CMP,CVD、芯片封装(Assemble),测试(Test)及后期的成品(FinishGoods)等相关设备工艺需要使用超高纯,低污染,低渗透,耐腐蚀,耐化学介质,耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。其中典型应用包括阀门O型圈,门密封,腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。
应用场合
单晶炉,氧化炉,清洗机,蚀刻机Etching,化学物理沉积CVD/PVD,抛光设备CMP。