晶圆激光割圆机

2023-04-10 09:39 114.95.92.162 1次
发布企业
首昂光电(上海)有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
2
主体名称:
首昂光电(上海)有限公司
组织机构代码:
91310120MA1HYMDD98
报价
人民币¥29999.00元每件
关键词
晶圆激光割圆机
所在地
上海市奉贤区广丰路1110号
手机
13681672788
联系人
黄小姐  请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍

产品介绍:

1)控制系统由程序电脑主机构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2)切割传动方式通过直线电机转动,提高设备切割精度。

3)切割马达采用高精度旋转马达。

4)切割采用切割头方式切割。

5)切割Z轴在切割过程中可以自动下移设定距离(可以在程序界面里单独设定Z轴速度和位移)。

6)可以实现圆切割和好线切割。

7)可以兼容切割8inch(200mm直径)/12inch(300mm直径)硅片。

8)加工时有安全窗口观察设备内部的加工情况,安全窗口激光透过率需保证操作人员的安全。


技术参数 :

技术规格

加工片子尺寸                             需要换切割载台                                      8寸、12寸       

切割深度                                  切穿  

激光器功率                               激光器出口出                 W                            50

工作台承载方式                         大理石  

                                              工作台行程                    mm                        150

                                              移动量解析度                 mm                       0.001

X轴                                         单步步进量                    mm                       0.001

                                              定位精度                       mm      (单一误差)0.004以内/5

                                              重复精度                       mm                        0.003

                                              工作台行程                     mm                        150

                                              移动量解析度                  mm                       0.001

Y轴                                         单步步进量                     mm                       0.001

                                              定位精度                        mm      (单一误差)0.004以内/5

                                              重复精度                        mm                        0.003

其他规格:                               电源                               AC            两相220-240V50HZ

                                              *大耗电量                     KW                           1.8

                                              压缩空气共给压力             MPa                      0.4-0.8

                                              排风量(工厂自备)         m³/min                       5

                                              设备尺寸(长x宽x高)      mm                1400x1170x1800

                                              设备重量                         KG                           995

                                              排风口口径                      mm                         100



应用范围:

该设备为硅片割圆设备,主要应用于大尺寸硅片切割成小尺寸硅片。


所属分类:中国机械设备网 / 其他行业专用设备
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成立日期2020年10月29日
法定代表人李轶
主营产品晶圆激光划片机,晶圆激光刻号机
经营范围一般项目:光电子器件销售;电子产品销售;工业自动控制系统装置销售;半导体器件专用设备销售;电气机械设备销售;仪器仪表销售;计算机软硬件及辅助设备批发;电气设备修理;以下限分支机构经营:半导体器件专用设备制造,工业自动控制系统装置制造,机械电气设备制造,机械零件、零部件加工(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
公司简介十五年深耕激光设备研发,十五年扎根半导体行业应用,造就了首昂光电深厚的技术沉淀以及独特的行业视角,我们一直致力于把更好的激光与自动化技术带入半导体行业。作为国内首批将激光应用于二极管、三极管及可控硅晶圆划切的领军者,公司技术团队正积极将激光技术应用到更宽广的半导体领域,助力中国半导体行业走向高端与自主可控。公司已储备大量基础加工技术,正稳步推进一系列拥有自主知识产权的新工艺、新应用,在多个关键制程 ...
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