KRi 射频离子源应用于车载摄像头镜片镀膜工艺, 实现车载镜头减反, 塑胶镜片增透
车载镜头的镀膜非常重要, 镀膜的核心用途就是增加透光率. 先进的镀膜技术可以大限度地减少反光,通过减少光在折射界面的反射而增加光线的透过率, 保证通光率, 从而保证镜头的佳画质. 在车载摄像头镜片加工镀膜环节,镀膜机通过加装上海伯东美国 KRi 射频离子源对于加强膜层致密性, 实现车载镜头减反, 塑胶镜片增透, 明显**工艺效果.
KRi 离子源原子水平上在材料表面沉积薄膜
KRi 离子源安装于精密光学镀膜机
对智能型手机镜头, 车用镜头, VR 虚拟现实镜头的塑胶光学镜头镀膜, 通过使用射频离子源 RFICP 325 成功镀膜于塑胶基板并且通过 1,500小时高温高湿严苛环境测试
镀膜材料: 高折射率材料 Ti2O5 (氧化钛）, 低折射率材料 SiO2 (氧化硅）
镀膜设备: 1米7 的大型蒸镀设备, 配置美国 KRI 射频离子源 RFICP 325
测试环境: 80C / 80% 湿度, 85C / 95% 湿度, 连续 1,500 小时高温高湿严苛环境测试
美国 KRi RFICP 射频离子源技术参数：
型号 | RFICP 40 | RFICP 100 | RFICP 140 | RFICP 220 | RFICP 380 |
Discharge 阳极 | RF 射频 | RF 射频 | RF 射频 | RF 射频 | RF 射频 |
离子束流 | >100 mA | >350 mA | >600 mA | >800 mA | >1500 mA |
离子动能 | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V |
栅极直径 | 4 cm Φ | 10 cm Φ | 14 cm Φ | 20 cm Φ | 30 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 | ||||
** | 3-10 sccm | 5-30 sccm | 5-30 sccm | 10-40 sccm | 15-50 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 | ||||
典型压力 | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr |
长度 | 12.7 cm | 23.5 cm | 24.6 cm | 30 cm | 39 cm |
直径 | 13.5 cm | 19.1 cm | 24.6 cm | 41 cm | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 | ||||
上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 系列, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束,通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长! 射频离子源适合多层膜的制备, 离子溅镀镀膜和离子蚀刻,改善靶材的致密性, 光透射, 均匀性, 附着力等. 上海伯东是美国 KRi离子源中国总代理.
上海伯东同时提供真空系统所需的涡轮分子泵, 真空规, 高真空插板阀等产品,协助客户生产研发高质量的真空系统.
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD领域.
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