静电测试是测试什么?
因静电放电产生原因和对集成电路等电子产品破坏方式的不同,国内外已形成一套静电放电测试标准,其目的是建立可重复的测试方法来提供可靠且准确的结果,判别芯片对静电放电的敏感等级,并可用来重现静电放电造成的故障。静电测试可以分为产品通过型测试和样品研究型测试两类。
产品通过型测试
产品通过型测试包括人体模型(Human BodyModel, HBM)、机器模型(Machine Model,MM)、元件充电模型(ChargedDevice Model, CDM)等器件级测试,IEC国际电工委员会IEC61000-4-2标准定义的接触放电和空气放电系统级测试。器件级HBM、MM、CDM测试的目的都是保证IC在制造过程中不受损坏,而IEC61000-4-2规定的系统级测试则用于模拟现实世界中的终端用户ESD事件,衡量终端用户电子产品的ESD性能。
样品研究型测试
产品通过型测试可以获得ESD防护器件的失效阈值,不能给出帮助分析ESD防护器件失效原理的详细数据。ESD防护器件设计的关键是对其失效原理的正确分析,传输线脉冲(TransmissionLinePulse,TLP)测试技术可以获得器件的关键性能参数,包括ESD器件的触发点、维持点和失效点的电流、电压,以便在生产制造过程中调整相关设计,从根本上提高产品的ESD防护能力,保证良率。由于直流特性在大电流时有严重的自热效应,并不能表征ESD事情发生时的瞬态特性,TLP测试就变得十分必要了。