产品简介
MS-系列：耐腐蚀质量流量计采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。可、快速测量腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合
性能指标
| 精度 | ± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S |
重复度 | ± 0.2 %F.S |
| 控制范围 | 1– F.S |
| 响应时间 | 10ms |
| 温度精度 | ±0.75°C |
| 工作温度 | −10–60°C |
| 压力精度 | ±0.5%R.D |
预热时间 | <1 s |
电气参数
| 模拟通讯 | 4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC |
| 数字通讯 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), ModbusTCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus |
| 电气接口 | 6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15 |
| 供电电压 | 9–24 VA （如果配备 4–20mA / 0-10V输出，则为12-24V） |
| 供电电流 | 40mA（如果配备 4–20mA / 0-10V输出，额外加40mA） |
