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产品简介
AlicatMC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。
多功能：监控流速的控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连 接：利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐 用：MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
性能指标
| 流量精度 | ±0.8% R.D and ±0.2% F.S ； ±0.4% R.D and ±0.2%F.S（用于≥5SCCM型号） |
| 重复性 | ±(0.2% R.D + 0.02% F.S) |
| 控制范围 | 0.01–F.S |
| 响应时间 | <10 ms；与流量相关 |
| 温度精度 | ±0.75°C |
| 压力精度 | ±0.5 %R.D（＞ 1 Atm）/ ±0.07 PSIA（＜ 1Atm） |
| 工作温度 | −10–60°C |
| 预热时间 | <1 s |
电气参数
| 电源 | 12–24 V；250 mA (如果配备 4–20mA，则为290 mA ) |
| 数字通讯 | RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP,DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus |
| 模拟通讯 | 4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V |
| 电气接口 | 6 pin locking； 8 pin mini-DIN； 8 pin M12；DB-9；DB-15 |
机械参数
| 阀门类型 | 常闭阀（MFM无意义） |
| 基体材质 | 302； 303； 304；316L；和 430FR不锈钢；FKM；氧化铝陶瓷；黄铜；玻璃；金；热固化环氧树脂；热固化硅橡胶；聚酰胺；硅 |
