RTP快速退火炉高温持温30Min升温可达150℃/S

2024-11-18 10:01 117.185.164.162 1次

发布企业: 上海螣芯电子科技有限公司商铺
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已通过营业执照认证

入驻顺企：
第
1
年

主体名称：
上海螣芯电子科技有限公司

组织机构代码：
91310120MA1HTCP98R
报价: 人民币￥350000.00元每台
品牌: 螣芯
型号: Table06
产地: 国内
关键词: RTP退火炉,快速退火炉,国产退火炉,退火,RTP快速退火炉
所在地: 上海市奉贤区金海公路3265号18幢7层
联系电话: 08613122976482
手机: 13122976482
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RTP快速退火炉高温持温能力，1000℃持温可达30min

快速退火炉RTP-Table-6

RTP-Table-6是在保护气氛下的桌面手动快速退火系统，以红外可见光加热单片Wafer 或样品，工艺时间短，控温精度高，适用2-6 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系统和其他 RTP系统，其腔体设计、温度控制技术和RL900软件控制系统，确保了极好的热均匀性。

快速退火炉RTP-Table-6产品介绍

概要

产品特点

▲红外卤素灯管加热，冷却采用风冷;

▲灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，***良好的重现性与温度均匀性;

▲采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在Wafer表面，避免退火过程中冷点产生，***产品良好的温度均匀性;

▲大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理;

▲标配两组工艺气体，Zui多可扩展至6组工艺气体;

▲可测单晶片样品的尺寸为6英寸（150mm）;

▲采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。

行业应用

A、氧化物、氮化物生长

B、硅化物合金退火

C、砷化镓工艺

D、欧姆接触快速合金

E、氧化回流

F、其他快速热处理工艺

基本配置

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成立日期	2019年08月16日
法定代表人	娄浩
注册资本	500
主营产品	机械，仪器仪表，半导体专用设备，电子工业设备
经营范围	从事电子科技、通讯科技、计算机信息科技、新能源科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、机电设备、金属材料、五金交电、仪器仪表、办公用品、日用百货的批发、零售，计算机信息系统集成，自有设备租赁，弱电工程施工，从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。】
公司简介	上海螣芯电子科技有限公司公司网址：www.tengxin-ch.com螣芯电子科技有限公司主要为半导体、微组装领域的客户提供设备集成和技术服务。目前公司拥有在半导体制造、微组装领域经验丰富的专业技术团队，主要服务于：半导体工艺：磁控溅射/电子束蒸发/PECVD/光刻/ICP/RIE/晶圆键合机/涂胶/显影/去胶设备半导体检测：晶圆AOI/AFM/台阶仪/三维光学轮廓仪/扫描电镜/薄膜应力设备/光刻 ...

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